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陶瓷修整環(huán)

主要用于LED襯底片、外延片的背面研磨、拋光制程。

由高純氧化鋁粉燒結而成,具有硬度高、精度高、形狀保持性好、無需修整、壽命長等特點,特別適用于晶圓或芯片等精度要求高的產(chǎn)品的研磨拋光制程,能夠實現(xiàn)對研磨盤的在線高精修整和對研磨液的均勻分散。

可按標準Q/ZMS029—2008提供陶瓷修整環(huán),外徑范圍:φ182-576 mm,并可根據(jù)用戶要求設計和制造各種非標產(chǎn)品。主要配套設備:創(chuàng)技、NTS、凱勒斯、捷斯奧等廠家的研磨機、拋光機。    

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